该厂为84英寸晶圆产出线配置的超净水系统的，每天都在引发含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属，但硅含磷量高易结渣，且电阻值率需高于18MΩ·cm才华回收。原先的办工院艺是没办法要求新出台的《光电子化工水被污染源产生要求》（GB39731-2020）专门产生卫生防护距离。 废水处理成分表优势 其主要造成的固体废弃物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、小粒硅（比表面积0.1-1μm） 特有标准 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 生活饮用水因素 ：低导电率（<50μS/cm）但硅单质行态繁琐 处理新工艺操作流程 转型升级运用"梯级膜转移+电去阴离子"组合名字制作工艺： 微滤预治疗 ：1μm瓷器膜短信拦截大粒状硅，通量确保80LMH 亚铁离子交流树酯 ：D201大孔树脂胶选用性吸出硅酸团伙 中级RO系统 ：一段收购率60%，第十二段通过高脱硼膜组件 EDI电去阴阳离子 ：瞬时电流强度2A/m²，继续除去残留物亚铁离子 紫外光消毒 ：254nmUV紫外线的线分子量40mJ/cm² 新技术特色 发掘多功能阻硅剂（生产胺类塑料物），延长膜的污染周期时间3倍 EDI组件转型升级流道设置，硅清掉率不断提升至99.8% 上线硅讲解仪（自动测量区间0.1-500μg/L）达成精准性的的控制 正常运行成果 经三是方检则： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼分量从8μg/L减少为0.3μg/L 系统收购率从原40%的提升至68% 膜更新周期性减少至5年，年执行投资成本较低35%