某半导体器件厂在研发全过程中动用硝酸钠系定影液，引发高质量浓度含NOx废气，日治理 量50吨。废气中含NO2-可高达2000mg/L，且有效氢化物发生器生物碳光刻胶基本成分，治理 难度系数较大的。 2. 废气组成成分及从何而来 定影繁琐流程废渣（重要造成的大气污染） 晶圆进行维护清洁化工废水 尾气洗條塔排水管道 3. 治理 加工制作工艺 程序流程 按照"高等氧化反应+有级生态学处置"全新新工艺： 三氧脱色 ：用嗅氧有器出现O3，将难可降解巧妙物葡萄糖阳极氧化为小碳原子产物，同時将NO2-阳极氧化为NO3-。 菌物膜体现器（MBR） ： 1级：缺痒周围环境下污泥脱水甲醇当作碳源，增强反硝化化学反应化学反应 第二名级：好氧动物膜进一次光降解有机肥料物 电化学分析上高度清理 ：用钛基铝层探针，能够 电解设备效用撤底分解成的残留物污染破坏物。 4. 决定郊果 NOx总氮降低8mg/L下面 COD平衡在30mg/L时间内 生活污水使用率达60% 装置进行耗电率把控好在3.5kWh/吨水，较传统与现代工艺设计节能技术20%。