半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务背景图案
该的中小型企业为高度领先于的半导体材料测封的中小型企业,为于珠四角各地,主要是进行高电子器件的划区和封裝测试英文。是因为位置绿色环保的要求严要求,的中小型企业直接决定进行废水补救方法零尾气排放水利。业务于22年启动时,2024年6月成立 投运,补救创业规模为200吨/日,总创业约2000来万。
污废水 成份及源
这项目的意义小学划片废水处理方法更具下类特殊性:
高盐氧化还原电位氟化物,主耍来自五湖四海晶圆打孔后的清洁工艺,氟阴离子盐氧化还原电位可以达到150-200mg/L
富含纳米技术级硅粉颗粒物,粒度分布多在100-500nm互相
可挥发强度较高,COD在500-800mg/L
有效轻微天价属如铅、镉等
水的电导率高,一般性在2000-3000μS/cm
净化处理生产工艺标准流程
为达到0排放口梦想,工艺技术方案设计方案重要要考虑电镀废水划分收集整理和市场环保再生再生资源回收:
废水处理方法的分类分类整理整体
:将含氟废污水处理与某个废污水处理分离获取
化学式滤渣除氟
:选取有级钙盐积淀法,配合默契高效率积淀池
高等级阳极氧化处里
:O3离子液体被氧化分解难操作有机质物
膜浓缩造成软件系统
:选用DTRO碟管式反侵入,浓缩造成数倍为10倍
汽化成果
:MVR设备水蒸汽再进行压缩化掉器办理浓水
干躁软件系统
:将晶体盐干燥处理后最为化学工业副车辆外售
进行处理感觉
系统性进行数值展现:
氟化物删去率>99.9%,溢水氟铁离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,有水出COD<20mg/L
水材料收售率>95%,仅引发少量的析出盐
每一年回收塑料并高产品质量中水回用水约8万吨
结晶体盐溶解度可达实业级基准,变现资源的化采用
好项目除了控制了污水达标排放量,还在资源共享回收利用创造出了约8070万/年的超额受益。